油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的，故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。 不同點是擴散泵工作在高真空區域，其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。廣泛用于電子...